机译:用三甲基铝和双氧前驱体通过等离子体增强原子层沉积法沉积氧化铝薄膜的研究:界面和结构性质的研究
机译:热退火对等离子体增强原子层沉积沉积铝氧化铝薄膜电介质,钝化和pH检测性能的影响
机译:超薄原子层沉积氧化铝涂层对铝的腐蚀防护
机译:等离子增强原子层沉积法使用氧化铝膜的银基望远镜镜的防潮和化学腐蚀防护
机译:通过原子层沉积法生长的润滑性纳米晶状氧化锌/氧化铝纳米层压板和二氧化锆单膜的结构和低温摩擦学。
机译:通过热和等离子体增强原子层沉积形成的IV组金属氧化物膜的化学稳定性和耐腐蚀性的比较
机译:热和等离子体增强原子层沉积形成的IV族金属氧化物膜的化学稳定性和耐腐蚀性的比较
机译:通过等离子体增强化学气相沉积沉积的无定形碳膜作为平面化层。